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应用材料公司申请化学机械抛光的温度控制专利,保持基板抵靠抛光垫的抛光表面:抛光
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金融界2025年7月16日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“化学机械抛光的温度控制”的专利,公开号CN120307185A,申请日期为2019年06月抛光。专利摘要显示,一种
2025-08-15
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